用于真空环境中的多功能处理装置
专利名称:
用于真空环境中的多功能处理装置
英文名称:
专利号:
专利类别:
发明
专利证书号:
申请号:
201710269763X
第一发明人:
高鸿钧
其它发明人:
任俊海;郇庆
申请日期:
专利授权日期:
2019-12-24
国外申请日期:
国外申请方式:
缴费情况:
实施情况:
专利摘要:
其它备注: