用于多探针STM的分时复用控制装置及多探针STM
专利名称:
用于多探针STM的分时复用控制装置及多探针STM
英文名称:
专利号:
专利类别:
发明
专利证书号:
申请号:
2017110901686
第一发明人:
郇庆
其它发明人:
严佳浩;鲍丽宏;高鸿钧
申请日期:
专利授权日期:
2019-10-25
国外申请日期:
国外申请方式:
缴费情况:
实施情况:
专利摘要:
其它备注: