一种对薄膜施加均匀应力的装置
专利名称:
一种对薄膜施加均匀应力的装置
英文名称:
专利号:
专利类别:
实用新型
专利证书号:
申请号:
2021205484745
第一发明人:
金桥
其它发明人:
荣东珂;林珊;陈爽;陈盛如;祁明群;金奎娟;郭尔佳
申请日期:
专利授权日期:
2022-02-08
国外申请日期:
国外申请方式:
缴费情况:
实施情况:
专利摘要:
其它备注: